横河メータ&インスツルメンツ、3μm 帯レーザの高精度評価が可能な光スペアナを発売

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横河メータ&インスツルメンツは2016年2月15日、波長範囲1.5μm~3.4μm のレーザ光スペクトルを、広い測定ダイナミックレンジと高い波長分解能で高精度に測定する光スペクトルアナライザAQ6376 を、2月16日に発売すると発表した。同モデルは、3μm 帯に対応した業界初の分散分光方式ベンチトップ型光スペクトルアナライザで、税抜き価格は1,100万円から。半導体レーザ、ファイバーレーザや広帯域光源の発光スペクトル評価、FBG(ファイバー・ブラッグ・グレーディング)などの光フィルタの波長透過特性測定を主な用途に、医療分野や環境計測分野など大学・研究機関、光半導体デバイスメーカ、光モジュールメーカなどを対象ユーザとして、海外を含め2016年度20台、2017年度30台の販売を計画する。

AQ6376 の測定ダイナミックレンジは、中赤外線領域の波長3μm 帯向けの干渉計型測定器と比較して約1万倍に相当する80dB、近傍ダイナミックレンジは約300倍に相当する55dB で、ともに業界最高性能を実現している。また、波長分解能も、波長3μm 帯向けの干渉計型測定器の3分の1に相当する業界最高の100pm を実現した。分光器内の空気に含まれる微量な水蒸気を除去して特定の波長の光の吸収を抑制する機能と、分光器の原理上発生する高次回折光(入力光波長の2~3倍の波長の光)の影響を低減する機能を備えることにより、被測定光本来の光スペクトル測定を可能にしている。